装置の稼働率を最大化するために、ディスパッチングルール
だけに頼っていませんか？
SmartFactory Advanced Schedulingは、半導体製造における最大の課題のひとつである「ロットの移動管理」を解決する、最適化ベースのスケジューリングシステムです。装置の活用を最大化するには、ディスパッチングとスケジューリングの両方が必要ですが、最適化されたスケジューリングがなければ、効率的な工場であっても生産能力を最大限に活かすことはできません。
SmartFactory Advanced Schedulingを選ぶ理由
リソグラフィ装置の稼働率を1%以上向上
スループットを2.1%向上
私たちの取り組みから得られる効果
迅速なスケジュール更新
- 工場のリアルタイムデータを活用し、複数の上流・下流システムからの情報を継続的に評価
- ディスパッチシステムだけでは実現できない高度なアルゴリズムを使用
- ロットやレチクルに対して、常に最新のスケジュールを提供
設備投資のリターンを最大化
- リソグラフィ装置の稼働率を向上させることで、新たな設備投資の延期または不要化を実現
- ボトルネック装置への設備投資（CapEx）を削減
共通のフレームワーク
- 実証済みのApplied APFプラットフォームと共通データモデル(common data model)をベースに構築され、工場イベントを基にプランニング、スケジューリング、ディスパッチ・アルゴリズムを実行
- 前工程および後工程(組立・テストエリア向け)に、すぐに使えるスケジューラーを提供
- 追加の統合作業（インテグレーション）は不要