SmartFactory 工艺质量解决方案

实施零缺陷战略,确保卓越的工艺质量和一致性。

Run-to-Run Control

通过提升设备以及工艺的性能改善良率

SPC3D

结合数据信息的提取与分析,提供智能决策

Fault Detection

最大限度降低良率损失,减少计划外设备停机

Recipe Management System

通过自动化配方管理保持一致性

Equipment Automation

提高生产效率,减少人为错误,实现超越手动基础的全自动化可能性