SmartFactory Fault Detection是一个过程控制解决方案,可以根据性能指标侦测传感器和事件,快速检测设备问题,从而提高设备的有效利用率和减少晶圆废料损失。 与许多依赖于反应性方法的独立系统不同,SmartFactory Fault Detection能够在设备问题影响产出之前提供主动和快速的反馈。
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